Liqui-Cel

микроэлектроника/ плоские мониторы

Microelectronics

ДАЛЬНЕЙШАЯ ИНФОРМАЦИЯ

Вы ищете нужный продукт для Вашего метода дегазации? В технических спецификациях Вы найдете подробную информацию по всем мембранным контакторам Liqui-Cel ®.

В микроэлектронике мембранные контакторы Liqui-Cel® используются уже более 15 лет для удаления кислорода и диоксида углерода из деионизированной воды при производстве полупроводниковых пластин. Контакторы Liqui-Cel® могут без проблем удалить растворенный кислород до значения 1 ppb, а растворенный диоксид углерода - до 1 ppm.

Полупроводниковые пластины и плоские мониторы проходят многоступенчатый процесс, в ходе которого выдерживаются и проявляются слои. При обработке отдельных слоев остатки перерабатываемых материалов должны удаляться с полупроводникового диска с помощью ультрачистой воды. Если в воде находятся газы, то они могут осаждаться на поверхности полупроводниковой пластины и повреждать ее.

Кроме того, в полупроводниковой промышленности в качестве распространенного процесса ионообмена широко применяются EDI и CDI. Эти технологии работают эффективнее, если вначале из воды удален растворенный CO2 . Слишком высокое содержание CO2 в воде ведет к зарядке системы EDI, что ведет к установке большего количества блоков EDI, чем это необходимо на самом деле. К тому же, загрузка CO2 негативно влияет на результаты по кремнию и бору в технологиях EDI/CDI.

Контакторы Liqui-Cel® уже стали стандартом дегазации в микроэлектронике и производстве плоских мониторов, т.к. они экологичны, дают очень мало отходов и не влияют на качество воды. Благодаря размерам поверхности (в 10 раз больше, чем у вакуумного дегазатора!) они настолько компактны, что их можно установить практически в любом помещении здания. В отличие от вакуумных колонн они имеют модульную конструкцию и могут быть расширены в случае изменения спецификации установки. Если увеличивается требуемый объем воды или уменьшается спецификация по кислороду, без проблем можно смонтировать в систему дополнительные контакторы.

Мембранные контакторы снискали себе за более чем 15 лет использования в этих отраслях отличные отзывы.